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[发明专利]激光照射设备-CN202110974545.2在审
发明人：金志桓;苏炳洙;崔锺勋 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2021-08-24 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：提供了激光照射设备。激光照射设备包括：激光束生成器，生成第一激光束；光束扩展器，扩展第一激光束并且输出经扩展的第一激光束作为第二激光束；光束分离器，将第二激光束分成多个第三激光束并且输出多个第三激光束；以及光束聚集器，聚集多个第三激光束并且输出经聚集的多个第三激光束。光束扩展器包括具有第一焦距的第一透镜和具有第二焦距的第二透镜。第一透镜设置在激光束生成器和第二透镜之间，第二透镜设置在第一透镜和光束分离器之间，并且激光束生成器与第一透镜间隔开第一焦距。
激光照射设备

[发明专利]制造显示装置的方法-CN202080035110.5在审
发明人：徐宗吾;金志桓;苏炳洙;李童敏;崔锺勋 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H01L27/32 文献下载
摘要：该制造显示装置的方法可包括：在衬底上形成多晶硅层的步骤；图案化多晶硅层并且从而形成具有第一厚度的第一区和第二区以及小于第一厚度的第二厚度的第三区的多晶硅图案的步骤；在多晶硅图案上形成栅极绝缘层的步骤；在栅极绝缘层上形成栅电极的步骤；通过将离子注入多晶硅图案的一部分中来形成有源层的步骤；在栅电极上形成绝缘中间层的步骤；形成分别穿过绝缘中间层和栅极绝缘层并且分别与第一区和第二区重叠的源极接触孔和漏极接触孔的步骤；形成分别填充源极接触孔和漏极接触孔的源电极和漏电极的步骤；以及形成与源电极或漏电极电连接的发光元件的步骤。
制造显示装置方法