[发明专利]激光照射设备

权利要求书

1.一种激光照射设备，包括：

激光束生成器，生成第一激光束；

光束扩展器，扩展所述第一激光束并且输出经扩展的所述第一激光束作为第二激光束；

光束分离器，将所述第二激光束分成多个第三激光束并且输出所述多个第三激光束；以及

光束聚集器，聚集所述多个第三激光束并且输出经聚集的所述多个第三激光束，其中，

所述光束扩展器包括：

第一透镜，具有第一焦距；以及

第二透镜，具有第二焦距，

所述第一透镜设置在所述激光束生成器和所述第二透镜之间，

所述第二透镜设置在所述第一透镜和所述光束分离器之间，并且

所述激光束生成器与所述第一透镜间隔开所述第一焦距。

2.根据权利要求1所述的激光照射设备，其中，所述光束分离器与所述第二透镜间隔开所述第二焦距。

3.根据权利要求1所述的激光照射设备，其中，所述第一激光束通过所述第一透镜入射在所述第二透镜上，经由所述第一透镜和所述第二透镜扩展，并且经由所述第二透镜输出作为所述第二激光束。

4.根据权利要求1所述的激光照射设备，其中，所述激光束生成器、所述光束扩展器、所述光束分离器和所述光束聚集器沿与所述第一透镜和所述第二透镜的光轴平行的X轴方向设置。

5.根据权利要求4所述的激光照射设备，其中，在所述X轴方向上，所述第二透镜的所述第二焦距大于所述第一透镜的所述第一焦距。

6.根据权利要求4所述的激光照射设备，其中，在垂直于所述X轴方向的Y轴方向上，所述第二激光束具有比所述第一激光束的宽度大的宽度。

7.根据权利要求6所述的激光照射设备，其中，在所述Y轴方向上，所述第二透镜具有比所述第一透镜的宽度大的宽度。

8.根据权利要求4所述的激光照射设备，其中，在所述X轴方向上，所述第一透镜和所述第二透镜之间的距离由通过将所述第一焦距、所述第二焦距和第一距离相加而获得的值来设定。

9.根据权利要求8所述的激光照射设备，其中，所述第一距离等于或大于零。

10.根据权利要求9所述的激光照射设备，其中，所述第一距离基于从所述激光束生成器输出的所述第一激光束相对于所述X轴方向发射的发射角来设定。

11.根据权利要求10所述的激光照射设备，其中，所述第一距离随着所述发射角增加而增加。

12.根据权利要求4所述的激光照射设备，其中，

所述第一透镜包括：

第一表面，面对所述激光束生成器；以及

第二表面，面对所述第二透镜，

所述第二透镜包括：

第三表面，面对所述第一透镜的所述第二表面；以及

第四表面，面对所述光束分离器，

所述第一表面和所述第二表面中的一个包括平坦表面或弯曲表面，

所述第一表面和所述第二表面中的另一个包括弯曲表面，

所述第三表面和所述第四表面中的一个包括平坦表面或弯曲表面，并且

所述第三表面和所述第四表面中的另一个包括弯曲表面。