[发明专利]激光照射设备

说明书

提供了激光照射设备。激光照射设备包括：激光束生成器，生成第一激光束；光束扩展器，扩展第一激光束并且输出经扩展的第一激光束作为第二激光束；光束分离器，将第二激光束分成多个第三激光束并且输出多个第三激光束；以及光束聚集器，聚集多个第三激光束并且输出经聚集的多个第三激光束。光束扩展器包括具有第一焦距的第一透镜和具有第二焦距的第二透镜。第一透镜设置在激光束生成器和第二透镜之间，第二透镜设置在第一透镜和光束分离器之间，并且激光束生成器与第一透镜间隔开第一焦距。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2020年8月31日向韩国知识产权局提交的第10-2020-0109889号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的整体内容通过引用并入本文中。

技术领域

本公开涉及照射均匀激光束的激光照射设备。

背景技术

向用户提供图像的电子装置(诸如智能电话、数码相机、笔记本电脑、导航单元和智能电视)包括用于显示图像的显示装置。显示装置生成图像，并且通过其显示屏将图像显示给用户。

显示装置可包括显示面板以及驱动器，显示面板包括多个像素以生成图像，驱动器用于驱动显示面板。每个像素可包括晶体管和电连接到晶体管的发光元件。晶体管可包括源电极、漏电极、栅电极和半导体层。

为了晶体管的电特性的改善，半导体层可使用通过使非晶硅结晶而获得的多晶硅来形成。为了形成多晶硅，可需要将激光束照射到非晶硅的结晶工艺。

将理解的是，此技术背景章节部分地旨在提供用于理解技术的有用背景。然而，此技术背景章节也可包括不属于由相关领域的技术人员在本文中所公开的主题的对应的有效申请日期之前所已知或领会的内容的思想、概念或认识。

发明内容

本公开提供了激光照射设备，该激光照射设备能够与从激光束生成器输出的激光束行进的方向无关地向光束分离器提供具有经校正的宽度的激光束。

实施方式提供了激光照射设备，该激光照射设备可包括：激光束生成器，生成第一激光束；光束扩展器，扩展第一激光束并且输出经扩展的第一激光束作为第二激光束；光束分离器，将第二激光束分成多个第三激光束并且输出多个第三激光束；以及光束聚集器，聚集多个第三激光束并且输出经聚集的多个第三激光束。光束扩展器可包括：第一透镜，具有第一焦距；以及第二透镜，具有第二焦距。第一透镜可设置在激光束生成器和第二透镜之间，第二透镜可设置在第一透镜和光束分离器之间，并且激光束生成器可与第一透镜间隔开第一焦距。

光束分离器可与第二透镜间隔开第二焦距。

第一激光束可通过第一透镜入射在第二透镜上，经由第一透镜和第二透镜扩展，并且经由第二透镜输出作为第二激光束。

激光束生成器、光束扩展器、光束分离器和光束聚集器沿与第一透镜和第二透镜的光轴基本上平行的X轴方向设置。

在X轴方向上，第二透镜的第二焦距可大于第一透镜的第一焦距。

在基本上垂直于X轴方向的Y轴方向上，第二激光束可具有比第一激光束的宽度大的宽度。

在Y轴方向上，第二透镜可具有比第一透镜的宽度大的宽度。

在X轴方向上，第一透镜和第二透镜之间的距离由通过将第一焦距、第二焦距和第一距离相加而获得的值来设定。

第一距离等于或大于大约零。

第一距离基于从激光束生成器输出的第一激光束相对于X轴方向发射的发射角来设定。

第一距离可随着发射角增加而增加。