[发明专利]一种扩散型高压快速软恢复二极管及其制造方法在审
| 申请号： | 202110954358.8 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN113745347A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 张磊;陈黄鹂;赵卫;赵涛;张琦;周杰;周哲;何杉 | 申请（专利权）人： | 西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/861 | 分类号： | H01L29/861;H01L21/329 |
| 代理公司： | 西安文盛专利代理有限公司 61100 | 代理人： | 彭冬英 |
| 地址： | 710077 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扩散型高压快速软恢复二极管及其制造方法。以N‑基区为衬底，N‑基区上方的阳极侧交替设置了P+/P掺杂区，分别通过硼预沉积和AL扩散形成；N‑为耐压区；在阳极P+区与N‑区之间设置了P缓冲层；阴极侧交替设置了高浓度的N+区和稍低浓度的P+区；在阴极侧的N+/P+区与N‑区之间设置了中等掺杂浓度的N缓冲层。阳极区上方设有阳极，阴极区下方设有阴极。本发明还公开了该种扩散性高压快速软恢复二极管的制备方法。本发明的高压快速软恢复二极管具有反向恢复速度快、软度大，工艺简单，成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 高压 快速 恢复 二极管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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