[发明专利]一种晶片缺陷检测方法在审
| 申请号： | 202110953360.3 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN113706490A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 张杰;周涵;杜寅超;陈江鹏;郑学哲 | 申请（专利权）人： | 中科苏州智能计算技术研究院;苏州旭创科技有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/73;G06K9/62;G01N21/88 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陈忠辉 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种晶片缺陷检测方法，包括样本图像质量评估，基于聚类算法对晶片区域图像进行操作，通过设置分类阈值筛选出质量合格的样本图像；两阶段单帧检测，基于Yolo v4的目标检测网络，先对样本图像中的晶片区域进行定位，而后对晶片区域中的缺陷进行检测定位；多帧融合策略，对待检测的晶片对象从不同角度拍摄获得视频序列，并利用视频序列采集n帧RGB的样本图像，经质量评估和两阶段单帧检测获得每帧样本图像的缺陷检测结果，继而基于投票的方式综合判定缺陷的存在与否，n为大于5的自然数。应用本发明晶片缺陷检测方案，能筛选去除质量较低的图像，并根据多帧检测结果综合判断缺陷，显著降低了误捡率，并提升了检测速度和精准程度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
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