[发明专利]晶体生长装置和晶体生长方法有效
| 申请号： | 202110952925.6 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN113652751B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 彭程;张洁;廖弘基;陈华荣 | 申请（专利权）人： | 福建北电新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 刘曾 |
| 地址： | 362200 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： |
本发明涉及晶体生长技术领域，具体而言，涉及一种晶体生长装置和晶体生长方法。晶体生长装置包括坩埚盖和坩埚体；坩埚体包括相互配合的侧壁和底壁；沿坩埚体的高度，侧壁包括多个壁体和多个连接段，壁体和连接段依次错开连接；坩埚盖、底壁和壁体均由第一石墨材质制成，连接段由第二石墨材质制成；且第一石墨材质的密度大于第二石墨材质的密度。如此能够提高坩埚内部的N |
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| 搜索关键词： | 晶体生长 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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