[发明专利]一种厚膜混合集成电路产品烘烤参数的确定方法有效
| 申请号： | 202110950941.1 | 申请日： | 2021-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN113670766B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 王晓卫;祝涵;陈如平 | 申请（专利权）人： | 深圳市振华微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N5/04 | 分类号： | G01N5/04;G01N21/3554;G01N30/02 |
| 代理公司： | 深圳市诺正鑫泽知识产权代理有限公司 44689 | 代理人： | 罗华 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种厚膜混合集成电路产品烘烤参数的确定方法，包括取样步骤、样品称重步骤、水汽定量测量步骤和水汽定性测量步骤，在厚膜混合集成电路产品上取粘接胶样品；将样品放置于热失重分析仪内称取初始样品的重量，用热失重分析仪对样品进行加热，使样品挥发出水汽，当样品的重量不再变化后，称量出最终样品的重量，并将各时段样品的重量和加热温度数据导入至显示屏上；用红外光谱仪对样品挥发出的水汽进行红外光谱检测，对水汽进行定量分析，将水汽的各成分的浓度数据导入至显示屏上；用气质联用仪对水汽进行定性检测，并利用曲线方程，可分别得到水汽中各成分以及各成分所对应的相对浓度值，并将各成分及其相对浓度数据导入至显示屏上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 混合 集成电路 产品 烘烤 参数 确定 方法 | ||
【主权项】：
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