[发明专利]外延设备清洗提醒方法、装置、电子设备及存储介质在审
| 申请号： | 202110942705.5 | 申请日： | 2021-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN113652745A | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 戴科峰;唐卓睿;盛飞龙;王鑫 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | C30B25/16 | 分类号： | C30B25/16;C30B25/14;C30B29/36;C23C16/52;C23C16/44 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及外延生长技术领域，具体公开了一种外延设备清洗提醒方法、装置、电子设备及存储介质，所述方法包括以下步骤：获取外延设备产生的反应尾气的颗粒物直径信息；根据所述颗粒物直径信息和预设的颗粒物直径阈值的比较结果发出清洗提醒信息；该方法通过获取外延设备运行过程中产生的反应尾气中的颗粒物直径信息，以间接获知外延设备反应室内杂质的生长情况，基于颗粒物直径信息和颗粒物直径阈值的比较结果可确定外延设备的反应室是否需要进行清洗，能及时提醒用户清洗外延设备，避免产生过多的劣质产品，实现智能化清洗提醒功能，以确定外延设备的最优维护时间。 | ||
| 搜索关键词： | 外延 设备 清洗 提醒 方法 装置 电子设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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