[发明专利]一种大角度宽波段减反射膜及其制作方法在审
| 申请号： | 202110941325.X | 申请日： | 2021-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN113721310A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 沈伟东;王海兰;杨陈楹;李强;张占军;金永红;章岳光;郑婷婷;陈潇 | 申请（专利权）人： | 浙江大学;东莞市宇瞳光学科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/115 | 分类号： | G02B1/115;G02B27/00 |
| 代理公司： | 杭州知闲专利代理事务所(特殊普通合伙) 33315 | 代理人： | 黄燕 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大角度宽波段减反射膜，包括基底，还包括设于基底上的高/低折射率交替膜堆以及设于高/低折射率交替膜堆顶面的纳米结构超低折射率膜层。本发明基于成熟的薄膜沉积技术以及简单快速的水腐蚀法，通过简便的操作控制渐变折射率膜层的厚度以及等效折射率，结合多层膜结构来调整大角度下宽波段的剩余反射率，适于大面积批量化生产，从而使得减反射膜成本大大降低，有望在光学元件、传感器、成像光学系统和太阳能电池等产品中广泛应用，为我国国民经济、社会发展、科学技术和国防建设等领域作出贡献。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 角度 波段 减反射膜 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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