[发明专利]一种陶瓷介质滤波器的金属层制备方法在审
| 申请号： | 202110915032.4 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN113802104A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 唐杰;钟文森;张磊;郑逸 | 申请（专利权）人： | 深圳戴尔蒙德科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/35;C23C14/18;C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京棘龙知识产权代理有限公司 11740 | 代理人： | 张开 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区福保街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种陶瓷介质滤波器的金属层制备方法，具体涉及陶瓷介质滤波器技术领域，包括以下步骤：S1：在陶瓷介质滤波器表面通过阳极层气体离子源对材料表面进行抛光、清洗处理；S2：在真空腔室内，对陶瓷表面进行离子注入处理，形成陶瓷‑金属混合层；S3：通过磁控溅射技术，在陶瓷表面沉积一层致密铜层；S4：在致密铜层表面采用通过电子束蒸发技术进行铜层的增厚处理，即制备第二铜层；S5：最后通过电子束蒸发技术沉积一层Ag金属层。本发明通过物理气相沉积的方式在陶瓷介质滤波器表面直接进行金属化，结合高，插入损耗值低，无环境污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 介质 滤波器 金属 制备 方法 | ||
【主权项】：
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