[发明专利]用于半导体用石英厚板凹槽临时快速检测装置及其方法在审
| 申请号： | 202110899309.9 | 申请日： | 2021-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN113483637A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 单佩;马洋洋 | 申请（专利权）人： | 上海菲利华石创科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/18 | 分类号： | G01B5/18;G01B5/28;G01B5/00 |
| 代理公司： | 上海茸恒专利代理事务所(特殊普通合伙) 31408 | 代理人： | 袁威 |
| 地址： | 201801 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体检测技术领域，具体涉及一种半导体用石英厚板凹槽检测装置及检测方法。其中，用于半导体用石英厚板凹槽临时快速检测装置，包括检测装置本体，还包括一标准板；检测装置本体包括：一连接器；一水平仪，设置于连接器上；至少三个水平移动机构，具有移动端，可转动的固定于连接器上；至少两个接触脚，分别可拆卸的设置于至少两个水平移动机构的移动端；一千分表，设置于远离接触脚的水平移动机构的移动端。本发明可同时进行深度与平面度的检测，提高检测速度，装置操作简单，提高了检测准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 石英 厚板 凹槽 临时 快速 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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