[发明专利]基于波前校正的高频响二维光电自准直方法与装置在审
| 申请号： | 202110878413.X | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113639677A | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 于洋;石剑;陈祥发;张玮煊;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 刘景祥 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： |
本发明属于精密测试计量技术领域，提出一种基于波前传感与校正的二维光电自准直方法与装置。本发明在传统自准直仪测量方法中增加波前测量与校正环节，通过测量仪器内参考光路的波前畸变信息并通过驱动变形镜补偿畸变相位，实现对自准直仪光学系统像差的测量与调控，提高光学系统的成像质量与光斑定位精度，进而提高自准直仪角度测量精度；角度测量和校正过程同时进行，提高自准直仪的测量速度。同时引入该环节使自准直仪具备了抵抗外界环境干扰的能力，进一步提高了自准直仪角度测量的分辨力与稳定性。该方法使自准直仪具备纳弧度量级(5×10 |
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| 搜索关键词： | 基于 校正 高频 二维 光电 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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