[发明专利]一种面向MEMS甲烷传感器的ZnO基气敏材料及其制备方法在审
| 申请号： | 202110876481.2 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113621925A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 焦明之;李加明;钱晨;刘柯 | 申请（专利权）人： | 中国矿业大学;淄博矿业集团有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京佳信天和知识产权代理事务所(普通合伙) 11939 | 代理人： | 卢楠 |
| 地址： | 221116*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种面向MEMS甲烷传感器的ZnO基气敏材料及其制备方法，属于气体传感器制备技术领域，用以解决现有ZnO基气敏材料一致性差的问题。本发明提供了的面向MEMS甲烷传感器的ZnO基气敏材料，包括由上至下设置的ZnO薄膜层、微加热板层和基底，其中，ZnO薄膜层的厚度为100～300nm。采用本发明的ZnO基气敏材料，能够降低传感器检测下限，且使传感器阻值线性度显著，高灵敏度，促进传感器在矿井及生活中甲烷浓度检测的实用化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 面向 mems 甲烷 传感器 zno 基气敏 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国矿业大学;淄博矿业集团有限责任公司，未经中国矿业大学;淄博矿业集团有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110876481.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
