[发明专利]一种具有钽金属涂层的Cf在审

专利信息
申请号: 202110874428.9 申请日: 2021-07-30
公开(公告)号: CN113845378A 公开(公告)日: 2021-12-28
发明(设计)人: 冯晶;汪俊;屈晨凯;李振军;王峰;王春燕 申请(专利权)人: 陕西宏大空天新材料研究院有限责任公司
主分类号: C04B41/88 分类号: C04B41/88
代理公司: 西安维赛恩专利代理事务所(普通合伙) 61257 代理人: 刘春
地址: 710000 陕西省西安市高新区丈八街办*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种具有钽金属涂层的Cf/SiC基复合材料及其制备方法,包括以下步骤:步骤1、对Cf/SiC基体3进行表面处理、清洗并干燥;步骤2、将Cf/SiC基体3置于沉积室中的转盘上,并将钽金属粉末放于氧化室1中的反应容器中,对沉积室和氧化室抽真空后升温;步骤3、待温度稳定后,分别向氧化室和沉积室中通入氟气和氢气,氧化室中氟气与金属钽粉末反应生成前驱体五氟化钽,由于压强作用,五氟化钽流通到沉积室中与氢气发生还原反应沉积在Cf/SiC表面并形成钽金属涂层。解决了现有Cf/SiC复合材料易高温氧化烧蚀,隔氧能力弱,耐腐蚀性不高的问题。
搜索关键词: 一种 具有 金属 涂层 base sub
【主权项】:
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