[发明专利]一种具有钽金属涂层的Cf 在审
| 申请号： | 202110874428.9 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113845378A | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 冯晶;汪俊;屈晨凯;李振军;王峰;王春燕 | 申请（专利权）人： | 陕西宏大空天新材料研究院有限责任公司 |
| 主分类号： | C04B41/88 | 分类号： | C04B41/88 |
| 代理公司： | 西安维赛恩专利代理事务所(普通合伙) 61257 | 代理人： | 刘春 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市高新区丈八街办*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 金属 涂层 base sub | ||
1.一种具有钽金属涂层的Cf/SiC基复合材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1、对Cf/SiC基体(3)进行表面处理、清洗并干燥；
步骤2、将Cf/SiC基体(3)置于沉积室(2)中的转盘(5)上，并将钽金属粉末放于氧化室(1)中的反应容器(4)中，对沉积室(2)和氧化室(1)抽真空后升温；
步骤3、待温度稳定后，分别向氧化室(1)和沉积室(2)中通入氟气和氢气，氧化室(1)中氟气与金属钽粉末反应生成前驱体五氟化钽，由于压强作用，五氟化钽流通到沉积室(2)中与氢气发生还原反应沉积在Cf/SiC表面并形成钽金属涂层。
2.如权利要求1所述的一种具有钽金属涂层的Cf/SiC基复合材料的制备方法，其特征在于，所述步骤1中，对Cf/SiC基体(3)进行表面处理时，将Cf/SiC用酒精超声清洗10～30min，干燥温度为80～100℃，干燥时间为2～5h。
3.如权利要求1或2所述的一种具有钽金属涂层的Cf/SiC基复合材料的制备方法，其特征在于，所述步骤2中钽金属粉末的纯度99.99％，粒径在48～150μm。
4.如权利要求1或2所述的一种具有钽金属涂层的Cf/SiC基复合材料的制备方法，其特征在于，所述步骤2中升温速率为3～8℃/min，沉积温度设置为800～1400℃。
5.如权利要求1或2所述的一种具有钽金属涂层的Cf/SiC基复合材料的制备方法，其特征在于，所述步骤3中氟气和氢气的纯度均大于99.99％，其中氟气的流量为50～150ml/min，氢气的流量为400～1000ml/min。
6.如权利要求1或2所述的一种具有钽金属涂层的Cf/SiC基复合材料的制备方法，其特征在于，所述步骤3中沉积时间为30～200min。
7.如权利要求1或2所述的一种具有钽金属涂层的Cf/SiC基复合材料的制备方法，其特征在于，形成钽金属涂层的Cf/SiC基复合材料的样品先用甲醇溶液超声清洗，再用丙酮和蒸馏水清洗。
8.一种具有钽金属涂层的Cf/SiC基复合材料，其特征在于，包括Cf/SiC基体(3)，所述Cf/SiC基体(3)上设有钽金属涂层。
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