[发明专利]一种钨靶材组件及其表面加工方法有效
| 申请号： | 202110871292.6 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113547390B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;廖培君;沈学峰 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种钨靶材组件及其表面加工方法，所述加工方法包括如下步骤：对钨靶材的溅射面依次进行粗磨和精磨，然后对精磨后的钨靶材溅射面进行抛光；所述加工方法将两种打磨工艺相结合，避免了使用刀具进行车削时引起的卡屑、崩角等问题，提高了加工的稳定性和成品率，降低了加工成本，在保证表面加工质量的条件下提高了生产效率，具有较好的工业化应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钨靶材 组件 及其 表面 加工 方法 | ||
【主权项】：
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