[发明专利]一种钨靶材组件及其表面加工方法有效
| 申请号： | 202110871292.6 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113547390B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;廖培君;沈学峰 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钨靶材 组件 及其 表面 加工 方法 | ||
1.一种钨靶材组件表面的加工方法，所述钨靶材组件包括钨靶材以及与所述钨靶材相连的靶材背板，其特征在于，所述加工方法包括如下步骤：
对钨靶材的溅射面依次进行粗磨和精磨，然后对精磨后的钨靶材溅射面进行抛光；
所述粗磨使用的砂轮粒度为80-100#；所述粗磨时砂轮的转速为1350-1650r/min；所述粗磨的垂直给进量为0.02-0.04mm/次；
所述精磨使用的砂轮粒度为80-100#；所述精磨时砂轮的转速为1350-1650r/min；所述精磨的垂直给进量为0.01-0.02mm/次；
进行所述粗磨时，砂轮平行于所述钨靶材溅射面方向的进给量为0.2B/行程，其中，B为所述砂轮的宽度，量纲为mm；所述行程为所述钨靶材的直径，量纲为mm；
进行所述精磨时，砂轮平行于所述钨靶材溅射面方向的进给量为0.1B/行程，其中，B为所述砂轮的宽度，量纲为mm；所述行程为所述钨靶材的直径，量纲为mm；
所述抛光采用砂带进行；所述砂带的粗糙度为100-320#；所述砂带的线速度为20-30m/s；
所述抛光的次数为5-10次；每次抛光前对靶材组件进行标记，每次抛光均按照同一标记方向进行。
2.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述粗磨和精磨分别独立地采用砂轮进行。
3.根据权利要求2所述的加工方法，其特征在于，所述砂轮包括金刚石砂轮。
4.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，将钨靶材组件固定于操作平台上，对钨靶材的溅射面依次进行粗磨和精磨；然后将钨靶材组件转移至传送装置上，使用砂带对精磨后的钨靶材溅射面进行抛光。
5.根据权利要求4所述的加工方法，其特征在于，进行所述粗磨时，操作平台的移动速度为15-25m/min，移动方向水平垂直于所述砂轮的水平进给方向。
6.根据权利要求4所述的加工方法，其特征在于，进行所述精磨时，操作平台的移动速度为15-25m/min，移动方向水平垂直于所述砂轮的水平进给方向。
7.根据权利要求4所述的加工方法，其特征在于，所述传送装置包括传送带。
8.根据权利要求7所述的加工方法，其特征在于，所述传送带的传送速度为5-10m/min，且传送带的移动方向与砂带的转动方向一致。
9.根据权利要求4所述的加工方法，其特征在于，所述抛光后钨靶材溅射面的粗糙度≤0.8μm。
10.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述靶材背板的材质包括Cu-Zn合金或Cu-Cr合金。
11.根据权利要求10所述的加工方法，其特征在于，所述靶材背板的焊接面平面度小于0.15mm。
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