[发明专利]双面往复镀膜装置有效
| 申请号： | 202110866446.2 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN113684462B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 钱若棨;钱敬吉 | 申请（专利权）人： | 苏州道一至诚纳米材料技术有限公司;无锡日积微机电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/30;C23C14/28;C23C14/35;C23C14/26;C23C14/32 |
| 代理公司： | 苏州满天星知识产权代理事务所(普通合伙) 32573 | 代理人： | 牛保和 |
| 地址： | 215131 江苏省苏州市相城区元*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种双面往复镀膜装置，包括真空室、发射源系统、至少一套卷绕设备及驱动机构，卷绕设备包括于柔性带材的传送路径上依次设置的第一卷绕滚轴、第一张力弹性滚轴、第一与第二定速传动滚轴、第二张力弹性滚轴及第二卷绕滚轴，第一及第二卷绕滚轴互为收（放）卷滚轴，并互为主（从）动力滚轴；第一及第二定速传动滚轴，互为主从定速传动滚轴，第一与第二定速传动滚轴之间的柔性带材的第一表面以及第一卷绕滚轴与第一张力弹性滚轴之间的柔性带材的第二表面均面向发射源系统。本发明可以解决现有的镀膜装置要实现双面镀膜必须具备至少两个蒸发源（组）而导致真空室内有效空间利用率低、成本高、效率低、产能小等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 双面 往复 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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