[发明专利]双面往复镀膜装置

说明书

本发明公开一种双面往复镀膜装置，包括真空室、发射源系统、至少一套卷绕设备及驱动机构，卷绕设备包括于柔性带材的传送路径上依次设置的第一卷绕滚轴、第一张力弹性滚轴、第一与第二定速传动滚轴、第二张力弹性滚轴及第二卷绕滚轴，第一及第二卷绕滚轴互为收（放）卷滚轴，并互为主（从）动力滚轴；第一及第二定速传动滚轴，互为主从定速传动滚轴，第一与第二定速传动滚轴之间的柔性带材的第一表面以及第一卷绕滚轴与第一张力弹性滚轴之间的柔性带材的第二表面均面向发射源系统。本发明可以解决现有的镀膜装置要实现双面镀膜必须具备至少两个蒸发源（组）而导致真空室内有效空间利用率低、成本高、效率低、产能小等问题。

技术领域

本发明关于镀膜设备领域，尤其涉及一种双面往复镀膜装置。

背景技术

真空镀膜技术一般分为两大类，即物理气相沉积（PVD）技术和化学气相沉积（CVD）技术，无论是PVD还是CVD技术，目前柔性卷绕系统的单蒸发源（组）对应的单面镀卷绕系统都是成熟技术，在柔性基材镀膜行业广泛应用。但是必须双面镀膜时，就只能先镀其中一面，然后停机下料，在倒膜机上对已镀过一面的整卷膜进行换面倒膜后，再重新装料进行二次镀膜。这些结构如此生产，耗时、费工、效率低下，并且重复装卸膜料及翻面倒膜会造成已镀膜面划伤及材料损耗，因此一般卷绕镀膜厂做双面产品镀膜时存在成品率低，制造成本高等问题。另外，有些声称双面镀卷绕系统实质上也是单蒸发源（组）对应的单面镀卷绕系统，只不过是在柔性基材的背面再加装了一个蒸发源（组），从而实现同时双面往复镀膜。此种结构，不能高效地利用真空室内有效空间，效率低，成本高，产能小，导致产成品成本过高。

再加上，近年来全球许多国家特别是发达国家，投入了大量人力物力研发基于d能带中心理论的高效纳米异相薄膜催化剂，但目前因为多种技术原因，至今还未有国家实现异相纳米薄膜催化剂的工业化大规模生产，其中如何使用单一发射源系统实现双面镀膜就是一个技术难题。

发明内容

因此，本发明的目的之一在于提供一种双面往复镀膜装置，以解决现有的镀膜装置要实现双面镀膜必须具备多个蒸发源或需要进行倒膜操作而导致真空室内有效空间利用率低、成本高、效率低、产能小等问题。

为达上述目的，本发明提高一种双面往复镀膜装置，所述双面往复镀膜装置用以镀膜于柔性带材的相对的第一表面以及第二表面，所述双面往复镀膜装置包括真空室、发射源系统、至少一套卷绕设备以及驱动机构。发射源系统设置于所述真空室内。至少一套卷绕设备设置于所述真空室内并位于所述发射源系统的周围，且每一套卷绕设备包括：第一卷绕滚轴以及第二卷绕滚轴，所述第一卷绕滚轴与所述第二卷绕滚轴其中之一为收卷滚轴，其中之另一为放卷滚轴，且所述第一卷绕滚轴以及所述第二卷绕滚轴互为主动力滚轴以及从动力滚轴；第一张力弹性滚轴以及第二张力弹性滚轴，用以改变所述柔性带材的运动方向以及通过弹性力调整所述柔性带材的张力避免偏移；至少一个导向滚轴，用以改变所述柔性带材的运动方向；第一定速传动滚轴以及第二定速传动滚轴，互为主定速传动滚轴以及从定速传动滚轴，用以调整所述柔性带材运动时的线速度恒定。所述驱动机构的输出轴连接所述卷绕设备的动力轴。其中，所述第一卷绕滚轴、所述第一张力弹性滚轴、所述第一定速传动滚轴、所述第二定速传动滚轴、所述第二张力弹性滚轴以及所述第二卷绕滚轴于所述柔性带材的传送路径上依次设置并通过所述柔性带材连接，所述导向滚轴设置于所述传送路径上；且所述第一定速传动滚轴与第二定速传动滚轴之间的柔性带材的第一表面面向所述发射源系统，所述第一卷绕滚轴与第一张力弹性滚轴之间的柔性带材的第二表面面向所述发射源系统；且所述第一定速传动滚轴与第二定速传动滚轴之间的柔性带材以及所述第一卷绕滚轴与第一张力弹性滚轴之间的柔性带材均位于所述发射源系统的发射范围内。

优选地，所述第一定速传动滚轴与第二定速传动滚轴之间的柔性带材具有第一长度，所述第一卷绕滚轴与第一张力弹性滚轴之间的柔性带材具有第二长度，所述第二长度大于所述第一长度。

优选地，所述第一长度与所述第二长度的比值为1:1.1-1:1.30。