[发明专利]双面往复镀膜装置有效

专利信息
申请号: 202110866446.2 申请日: 2021-07-29
公开(公告)号: CN113684462B 公开(公告)日: 2023-07-21
发明(设计)人: 钱若棨;钱敬吉 申请(专利权)人: 苏州道一至诚纳米材料技术有限公司;无锡日积微机电设备有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/30;C23C14/28;C23C14/35;C23C14/26;C23C14/32
代理公司: 苏州满天星知识产权代理事务所(普通合伙) 32573 代理人: 牛保和
地址: 215131 江苏省苏州市相城区元*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 双面 往复 镀膜 装置
【权利要求书】:

1.一种双面往复镀膜装置,用以镀膜于柔性带材的相对的第一表面以及第二表面,其特征在于,所述双面往复镀膜装置包括:

真空室;

发射源系统,设置于所述真空室内;

至少一套卷绕设备,设置于所述真空室内并位于所述发射源系统的周围,且每一套卷绕设备包括:

第一卷绕滚轴以及第二卷绕滚轴,所述第一卷绕滚轴与所述第二卷绕滚轴其中之一为收卷滚轴,其中之另一为放卷滚轴,且所述第一卷绕滚轴以及所述第二卷绕滚轴互为主动力滚轴以及从动力滚轴;

第一张力弹性滚轴以及第二张力弹性滚轴,用以改变所述柔性带材的运动方向以及通过弹性力调整所述柔性带材的张力避免偏移;

至少一个导向滚轴,用以改变所述柔性带材的运动方向;

第一定速传动滚轴以及第二定速传动滚轴,互为主定速传动滚轴以及从定速传动滚轴,用以调整所述柔性带材运动时的线速度恒定;以及

驱动机构,所述驱动机构的输出轴连接所述卷绕设备的动力轴;

其中,所述第一卷绕滚轴、所述第一张力弹性滚轴、所述第一定速传动滚轴、所述第二定速传动滚轴、所述第二张力弹性滚轴以及所述第二卷绕滚轴于所述柔性带材的传送路径上依次设置并通过所述柔性带材连接,所述导向滚轴设置于所述传送路径上;且所述第一定速传动滚轴与第二定速传动滚轴之间的柔性带材的第一表面面向所述发射源系统,所述第一卷绕滚轴与第一张力弹性滚轴之间的柔性带材的第二表面面向所述发射源系统;且所述第一定速传动滚轴与第二定速传动滚轴之间的柔性带材以及所述第一卷绕滚轴与第一张力弹性滚轴之间的柔性带材均位于所述发射源系统的发射范围内;

所述第一定速传动滚轴与第二定速传动滚轴之间的柔性带材到所述发射源系统的距离小于所述第一卷绕滚轴与第一张力弹性滚轴之间的柔性带材到所述发射源系统的距离,所述第一定速传动滚轴与第二定速传动滚轴之间的柔性带材具有第一长度,所述第一卷绕滚轴与第一张力弹性滚轴之间的柔性带材具有第二长度,所述第二长度大于所述第一长度;

所述第二卷绕滚轴的轴心距离所述真空室的底部具有第一高度,所述第二定速传动滚轴的轴心距离所述真空室底部具有第二高度,所述第一高度小于所述第二高度;

所述第一张力弹性滚轴与所述发射源系统的中心轴之间具有第三距离,所述第二定速传动滚轴的轴心与所述发射源系统的中心轴具有第四距离,且所述第四距离大于所述第三距离。

2.如权利要求1所述的双面往复镀膜装置,其特征在于,所述第一长度与所述第二长度的比值为1:1.1-1:1.3。

3.如权利要求1所述的双面往复镀膜装置,其特征在于,所述第一高度大于270mm,所述第二卷绕滚轴的轴心与所述第二定速传动滚轴的轴心的高度差大于130mm。

4.如权利要求1所述的双面往复镀膜装置,其特征在于,所述第三距离大于150mm,所述第四距离大于350mm。

5.如权利要求4所述的双面往复镀膜装置,其特征在于,所述发射源系统的发射范围的边缘与所述真空室的底部所在平面成第一角度,所述第一角度为30︒-60︒。

6.如权利要求1所述的双面往复镀膜装置,其特征在于,所述第一定速传动滚轴与第二定速传动滚轴均为压力式定速传动滚轴。

7.如权利要求6所述的双面往复镀膜装置,其特征在于,所述压力式定速传动滚轴的中间区域以及临近两端的区域均具有防滑动的花纹结构。

8.如权利要求1所述的双面往复镀膜装置,其特征在于,所述第一卷绕滚轴以及所述第二卷绕滚轴均为双向弹性阻尼间滑式滚轴。

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