[发明专利]一种应用于异质结的ITO靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202110864783.8 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN113666736A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 雷雨;周志宏;肖世洪;刘芳 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/622;C04B35/64;C04B35/634;C04B35/632;C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州一锐专利代理有限公司 44369 | 代理人： | 朱蓉艳 |
| 地址： | 510000 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于异质结的ITO靶材及其制备方法，包括以下步骤：S1、将氧化铟粉体、氧化锡粉体球磨混合均匀，得到ITO粉体；S2、将ITO粉体、分散剂、烧结助剂、去离子水混合均匀，得到浆料；S3、将所述浆料经过喷雾造粒，得到粉体；S4、将所述粉体置于模具中进行压制成型，得到素坯；S5、将素坯在氧气氛围下烧结，得到应用于异质结的ITO靶材。本发明所述的应用于异质结的ITO靶材具有良好的致密度、抗折强度以及低电阻率，通过使用所述的三元烧结助剂能够有效的提高靶材的均匀性，提高靶材的致密度、抗折强度，降低电阻率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 异质结 ito 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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