[发明专利]检查装置及检查方法在审
| 申请号： | 202110863453.7 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN114054985A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 荻原孝文 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/50 | 分类号： | B23K26/50;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 检查装置具备：光源，其向晶圆照射激光；作为测定部的AF单元，其测定作为晶圆上的激光L的入射面的背面(测定对象面)的位移；控制部，其构成为实行如下操作：以通过向晶圆照射激光而在晶圆的内部形成一个或多个改性区域的方式控制光源；以测定作为照射激光后的背面的位移的加工后位移的方式控制AF单元；基于由AF单元测定出的加工后位移，导出晶圆的加工状态的推定所涉及的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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