[发明专利]一种应用于大尺寸硅片研磨的悬浮助剂、其制备方法及用途有效
| 申请号： | 202110862927.6 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN113621346B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 侯军;李传强 | 申请（专利权）人： | 浙江奥首材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 大连大工智讯专利代理事务所(特殊普通合伙) 21244 | 代理人： | 崔雪 |
| 地址： | 324012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种应用于大尺寸硅片研磨的悬浮助剂、其制备方法及用途，所述悬浮助剂包括重量配比如下的各组分：氢键触变剂0.5‑5份；悬浮增效剂0.5‑5份；电荷中和剂0.1‑1份；分散剂0.5‑10份；润滑剂10‑20份；防锈剂0.1‑0.5份；水50‑85份。本发明还公开了上述悬浮助剂的制备方法，包括以下步骤：向去离子水中依次加入分散剂、润滑剂、电荷中和剂和防锈剂；加热至40℃后，向溶液中加入氢键触变剂，乳液静置溶胀稳定；向溶液中加入悬浮增效剂，制备得到应用于大尺寸硅片研磨的悬浮助剂。本发明制备的悬浮助剂可以有效增加复合磨料的悬浮性能，同时对不同磨料具有良好的分散性，避免循环研磨中形成磨料团聚和磨料硬沉淀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 尺寸 硅片 研磨 悬浮 助剂 制备 方法 用途 | ||
【主权项】：
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