[发明专利]一种透明导电结构的紫外波段可调光电探测器及其制备方法

摘要

本发明属于光电探测技术领域，公开了一种透明导电结构的紫外波段可调光电探测器及其制备方法，所述探测器的结构为依次排布的探测器衬底、石墨烯插入层、第一GaN层、AlGaN层、Ga2O3层、透明导电层，所述石墨烯插入层和透明导电层上设置有电极。有益效果：石墨烯作为插入层，其与GaN层通过范德华力键合，极大地缓解了与蓝宝石衬底的晶格常数失配，降低了位错密度，提高了外延层的生长质量；与常规GaN/AlGaN外延结构制备的光电探测器相比，加入梯状Ga2O3层，一方面Ga2O3层与透明导电层形成肖特基势垒减小暗电流，另一方面梯状Ga2O3层可以有效增大受光面积，配合石墨烯透明导电材料高迁移率特性增大了光电流。