[发明专利]扩散炉在审
| 申请号： | 202110858512.1 | 申请日： | 2021-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN113584595A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 高鹏飞 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 郑久兴 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种扩散炉，包括：炉管结构，其包括炉管本体和炉底，所述炉管本体的底端与所述炉底连接围成反应腔；承载结构，其包括基座和设于所述基座上的晶舟，所述晶舟设为多个，所述基座设于所述炉底上。通过将晶舟设为多个，可将炉管本体的高度降低，同时可将炉管本体的宽度加宽，这样设备维修和保养的空间变大，有利于对设备进行维修和保养；同时反应腔的高度降低，上下反应条件差异变小，可使得晶圆成膜质量差异变小，可提高产品良率，而且由于上下反应条件差异变小可减少制程时间，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 | ||
【主权项】：
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