[发明专利]扩散炉

权利要求书

1.一种扩散炉，其特征在于，包括：

炉管结构，其包括炉管本体和炉底，所述炉管本体的底端与所述炉底连接围成反应腔；

承载结构，其包括基座和设于所述基座上的晶舟，所述晶舟设为多个，所述基座设于所述炉底上。

2.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述基座与所述炉底旋转连接。

3.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述晶舟与所述基座旋转连接。

4.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述炉管本体与所述炉底设为相对升降移动。

5.根据权利要求2或3所述的扩散炉，其特征在于，多个所述晶舟以所述基座与所述炉底旋转的中心轴线呈圆周阵列间隔分布。

6.根据权利要求2或3所述的扩散炉，其特征在于，每个所述晶舟设为相对于所述基座单独旋转；和/或多个所述晶舟通过所述基座相对于所述炉底共同旋转。

7.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，多个所述晶舟环绕的中心设有第一加热器，所述第一加热器与所述基座连接。

8.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述炉管结构还包括第二加热器，所述第二加热器分布于所述炉管本体的外侧。

9.根据权利要求7所述的扩散炉，其特征在于，所述炉管结构还包括气路系统，其用于向所述反应腔提供反应气体，所述气路系统包括进气结构和排气结构，所述进气结构和排气结构均设于所述炉管本体上，且所述进气结构和排气结构均与所述反应腔连通。

10.根据权利要求9所述的扩散炉，其特征在于，所述进气结构包括进气管、所述排气结构包括排气口，所述气路系统还包括与所述进气管连通的立管，所述进气管设于靠近所述炉管本体的底端，所述排气口设于所述炉管本体的顶部，所述立管上沿其纵向设有若干间隔分布的吹气孔，以使所述立管内的反应气体吹向上下间隔的晶圆之间的间隙。

11.根据权利要求10所述的扩散炉，其特征在于，所述立管以所述基座与所述炉底旋转的中心轴线呈圆周阵列间隔分布。

12.根据权利要求10所述的扩散炉，其特征在于，所述立管与所述晶舟一一对应，所述晶舟位于所述立管与所述第一加热器之间。

13.根据权利要求11所述的扩散炉，其特征在于，所述进气管包括进气总口和与所述进气总口连通的环形管道，所述环形管道沿多个所述晶舟呈圆形设置，所述立管与所述环形管道连通。

14.根据权利要求9所述的扩散炉，其特征在于，所述进气结构包括进气管，所述进气管设于靠近所述炉管本体的底端；

所述气路系统还包括与所述进气管连通的立管，所述立管上沿其纵向设有若干间隔分布的气孔，以使所述立管内的反应气体吹向上下间隔的晶圆之间的间隙；

所述排气结构包括排气通道和排气口，所述排气通道设为纵向设置，所述排气通道的顶端与所述反应腔连通，所述排气通道的底端与排气口连通；

所述排气口高于所述进气管，所述排气通道高于所述晶舟。

15.根据权利要求9所述的扩散炉，其特征在于，所述进气结构包括进气管，所述进气管设于靠近所述炉管本体的底端；

所述排气结构包括排气通道和排气口，所述排气通道设为纵向设置，所述排气通道的顶端与所述反应腔连通，所述排气通道的底端与排气口连通；

所述排气口高于所述进气管，所述排气通道高于所述晶舟。