[发明专利]阵列基板及制作方法、显示面板有效
申请号: | 202110853235.5 | 申请日: | 2021-07-27 |
公开(公告)号: | CN113568230B | 公开(公告)日: | 2023-07-25 |
发明(设计)人: | 钟德镇;蒋隽 | 申请(专利权)人: | 昆山龙腾光电股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362;G02F1/1368 |
代理公司: | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人: | 蔡光仟 |
地址: | 215301 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种阵列基板及制作方法、显示面板,阵列基板包括:基底;设于基底上的数据线;设于数据线上侧的金属氧化物层,金属氧化物层包括对应有源层的半导体部分以及对应源极、漏极和保护部的导体部分,保护部覆盖在第一金属层的上表面并用于保护第一金属层;覆盖金属氧化物层的第一绝缘层;设于第一绝缘层上侧的扫描线和栅极,栅极在金属氧化物层上的投影与有源层相对应;覆盖扫描线和栅极的第二绝缘层;设于第二绝缘层上侧的像素电极。本发明公开的阵列基板的数据线上覆盖有保护部,避免数据线在后续蚀刻工艺中损坏,将栅极设于有源层的上侧,在对金属氧化物层进行导体化处理时,使得栅极可以对有源层进行阻挡,减少处理工艺。 | ||
搜索关键词: | 阵列 制作方法 显示 面板 | ||
【主权项】:
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