[发明专利]加液装置及研磨设备在审
| 申请号： | 202110846049.9 | 申请日： | 2021-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN113510620A | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 陈家宝 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B57/00;B24B55/06;B01D29/03;B01D29/96;B01F7/30;G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 孟秀娟;黄健 |
| 地址： | 230011 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供一种加液装置及研磨设备，涉及半导体技术领域，该加液装置包括用于盛放研磨液的筒体、出液管以及控制器；所述筒体上设置有出液口，所述出液管可拆卸连接在出液口上，且所述出液管上设置有电磁阀；所述控制器与所述电磁阀信号连接，用于控制所述电磁阀工作。本申请实施例通过在研磨设备上设置加液装置，利用电磁阀和控制器的设置，可以使得该加液装置自动向研磨设备的研磨盘提供研磨液，与相关技术中手动向研磨设备的研磨盘提供研磨液的技术方案相比，一方面可以提高研磨效率，另一方面可以节约研磨液的用量，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 研磨 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长鑫存储技术有限公司，未经长鑫存储技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110846049.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种脱硫装置石膏排出系统过滤装置及过滤方法
- 下一篇：一种轻型磁带式音响
