[发明专利]加液装置及研磨设备在审
申请号: | 202110846049.9 | 申请日: | 2021-07-26 |
公开(公告)号: | CN113510620A | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 陈家宝 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | B24B57/02 | 分类号: | B24B57/02;B24B57/00;B24B55/06;B01D29/03;B01D29/96;B01F7/30;G01N1/28 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 孟秀娟;黄健 |
地址: | 230011 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 研磨 设备 | ||
1.一种加液装置,其特征在于,用于向研磨设备的研磨盘提供研磨液,所述加液装置包括用于盛放研磨液的筒体、出液管以及控制器;
所述筒体上设置有出液口,所述出液管可拆卸连接在出液口上,且所述出液管上设置有电磁阀;
所述控制器与所述电磁阀信号连接,用于控制所述电磁阀工作。
2.根据权利要求1所述的加液装置,其特征在于,所述出液口的内壁上设置有第一内螺纹,所述出液管的外壁上设置有第一外螺纹,所述出液管螺纹连接在所述出液口上。
3.根据权利要求2所述的加液装置,其特征在于,还包括遮挡件,所述遮挡件可抽拉安装在所述筒体内,所述遮挡件用于打开或者遮挡所述出液口。
4.根据权利要求3所述的加液装置,其特征在于,所述筒体的侧壁上设置有抽拉口;
所述遮挡件包括遮挡板以及与所述遮挡板连接的抽拉杆,所述抽拉杆背离所述遮挡板的一端穿设在所述抽拉口后延伸至所述筒体内,所述抽拉杆与所述抽拉口之间密封连接。
5.根据权利要求1-4任一项所述的加液装置,其特征在于,所述筒体上设置有加液口,以及可拆卸连接在所述加液口上的盖体。
6.根据权利要求5所述的加液装置,其特征在于,所述盖体上设置有提手。
7.根据权利要求1-4任一项所述的加液装置,其特征在于,所述筒体内设置有可拆卸连接的过滤网。
8.根据权利要求1-4任一项所述的加液装置,其特征在于,还包括搅拌组件,所述搅拌组件包括转动轴、驱动器以及搅拌件;
所述驱动器设置在筒体上,所述驱动器的输出端与所述转动轴连接;
所述搅拌件设置在所述转动轴上,并随所述转动轴进行转动。
9.根据权利要求8所述的加液装置,其特征在于,所述搅拌件包括传动机构、搅拌轴以及搅拌叶片;
所述传动机构包括固定连接在所述筒体的侧壁上的齿环以及与所述齿环啮合传动的齿轮;
所述搅拌轴的一端与所述传动机构中的齿轮固定连接,所述搅拌轴的另一端与所述转动轴转动连接;
所述搅拌叶片设置在所述搅拌轴上。
10.根据权利要求9所述的加液装置,其特征在于,还包括承载环,所述承载环固定连接在所述筒体的侧壁上,所述齿环固定连接在所述承载环的上表面上。
11.根据权利要求1-4任一项所述的加液装置,其特征在于,还包括安装支架,所述安装支架的一端与所述筒体连接,所述安装支架的另一端用于与研磨设备连接。
12.根据权利要求11所述的加液装置,其特征在于,所述安装支架包括可伸缩的第一安装杆以及与所述第一安装杆连接的第二安装杆,所述筒体固定连接在所述第二安装杆上;
所述第一安装杆的轴线与所述第二安装杆的轴线相互垂直。
13.根据权利要求12所述的加液装置,其特征在于,所述第一安装杆包括第一杆体以及套设在所述第一杆体上的第二杆体,所述第二杆体能够相对所述第一杆体的轴线方向上下移动。
14.一种研磨设备,其特征在于,包括研磨机和如权利要求1-13任一项所述的加液装置,所述加液装置的安装支架固定连接在所述研磨机上。
15.根据权利要求14所述的研磨设备,其特征在于,所述研磨机上设置有出水口,所述出水口用于向所述研磨机的研磨盘上提供清洗水;
所述研磨机上设置有第一调节按钮,所述第一调节按钮用于调节所述清洗水的流速;
所述研磨机上设置有第二调节按钮,所述第二调节按钮用于调节位于所述筒体内的研磨液的流速。
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