[发明专利]一种图像对准方法及装置

摘要

本发明提供了一种图像对准方法及装置，其中，该方法包括：通过图像采集设备获取被测样品的初始图像，初始图像满足预设的对焦要求；在初始图像中确定初始角点；通过图像采集设备获取被测样品的当前图像；在当前图像中确定与初始角点对应的当前角点；调节被测样品和图像采集设备在x轴方向，和/或，y轴方向的相对位置，使当前角点位于初始角点所在位置；调节图像采集设备的焦距，和/或，被测样品和图像采集设备在z轴方向的相对位置，使图像采集设备获取的对准图像满足预设的对焦要求。通过实施本发明获取的对准图像不仅与初始图像的视场相同，而且具有较高的清晰度，解决了热膨胀导致的散焦问题。