[发明专利]尾气中镓源回收装置、尾气处理装置及HVPE反应器有效
| 申请号： | 202110823107.6 | 申请日： | 2021-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN113521953B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 徐琳;蔡德敏;金超 | 申请（专利权）人： | 苏州纳维科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;F28B1/00;F28B9/08;C30B25/14;C30B25/16;C30B29/40 |
| 代理公司： | 杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙) 33329 | 代理人： | 安佳伟;唐灵 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体材料技术领域。本发明公开了一种尾气中镓源回收装置，回收装置包括腔体及设于腔体内的回收容器；腔体内壁顶面为弧形；回收装置内部的温度为300‑800℃；本发明还公开了一种尾气处理装置及HVPE反应器。HVPE反应后尾气经过本发明中的尾气中镓源回收装置处理后，能够富集尾气中的镓源，并进行回收，同时回收后的镓源中不含有氯化铵等杂质或含有极少杂质。本发明中的尾气处理装置能够很好的分离尾气中的镓源和氯化铵等杂质，实现尾气中高纯镓源的回收。本发明中的HVPE反应器具有镓源回收装置，能够很好的回收HVPE反应中进入尾气中的镓源，提高原料的使用率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 尾气 中镓源 回收 装置 处理 hvpe 反应器 | ||
【主权项】：
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