[发明专利]尾气中镓源回收装置、尾气处理装置及HVPE反应器

权利要求书

1.一种尾气中镓源回收装置，其特征在于：

其包括腔体、设于腔体内的回收容器以及温控装置；

所述腔体内壁的顶面为向下延伸至所述回收容器中的连续面，

所述回收容器设于腔体的两侧和/或中部位置，该回收容器具有和所述腔体内壁相对设置的夹持面，所述夹持面的底部与所述腔体内壁夹持，从而形成该回收容器的容置空间；

所述温控装置控制所述腔体内壁顶面的温度，使得该腔体内壁顶面的温度满足尾气中的镓源凝结为液滴附着于所述顶面上，且尾气中的其它气体维持气态，当尾气进入所述镓源回收装置后，尾气中的镓源气体在所述腔体内壁顶面上凝结为液滴，并在重力的作用下沿腔体内壁滑入所述回收容器中；所述温控装置中的热源位于腔体内壁的外侧，所述腔体内壁顶面的温度为400-800℃；

所述腔体上设有至少一个进气口及至少一个出气口，所述容置空间的底部具有从所述进气口至所述出气口逐渐向下的倾斜设置。

2.根据权利要求1所述的一种尾气中镓源回收装置，其特征在于：所述腔体内具有沿所述进气口至所述出气口的负压方向，所述负压驱动所述尾气从所述进气口向所述出气口移动。

3.根据权利要求1所述的一种尾气中镓源回收装置，其特征在于：

所述温控装置包括一热源和一温度传感器，所述温度传感器用于检测所述腔体内壁顶面的温度。

4.根据权利要求3所述的一种尾气中镓源回收装置，其特征在于：

所述热源为热固体、热液体、热气体或电加热器。

5.一种尾气处理装置，其特征在于：

包括若干个不同尾气成分处理的装置，其中至少一个装置为权利要求1-4任一所述的尾气中镓源回收装置。

6.根据权利要求5所述的一种尾气处理装置，其特征在于：

所述尾气中镓源回收装置设于所述尾气处理装置的尾气入口端。

7.一种HVPE反应器，其特征在于：

其包含HVPE反应炉和如权利要求5或6所述的尾气处理装置，所述尾气处理装置设置在该HVPE反应炉的尾气出口。