[发明专利]一种直写光刻镜头DMD倾斜角度调节方法在审
| 申请号： | 202110813039.5 | 申请日： | 2021-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN113534617A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 洪小苗 | 申请（专利权）人： | 苏州艾线光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 陈坚 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种直写光刻镜头DMD倾斜角度调节方法，其技术方案要点是包括固定步骤：将镜头预紧固定于成像平台上方，并进入成像步骤；成像步骤：DMD元件的两个投射点均向成像平台投射图案，并进入中心确定步骤；中心确定步骤：移动图案识别设备以分别识别两个图案的中心点并得到两个中心点的坐标值，并进入角度计算步骤；角度计算步骤：根据坐标值计算得到当前旋转角度，计算当前倾斜角度与预设的设定旋转角度之间的差值，若差值在预设的偏差范围内，则将镜头锁紧；若差值在预设的偏差范围外，则根据差值通过调节装置调整镜头的角度，并回到成像步骤。该调节方法能够对DMD元件的角度进行调节，调节准确度高，调节效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 镜头 dmd 倾斜 角度 调节 方法 | ||
【主权项】：
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