[发明专利]一种直写光刻镜头DMD倾斜角度调节方法

权利要求书

1.一种直写光刻镜头DMD倾斜角度调节方法，其特征在于：提供镜头(1)、成像平台、图案识别设备以及调节装置(3)，所述图案识别设备滑动连接于成像平台上，所述调节装置(3)固定于成像平台上并用于调整镜头(1)的角度，镜头(1)上固定有DMD元件，该角度调节方法包括：

固定步骤：将所述镜头(1)预紧固定于所述成像平台上方，并进入成像步骤；

成像步骤：所述DMD元件的两个投射点均向所述成像平台投射图案，两个所述投射点之间的距离大于预设的最小距离值，并进入中心确定步骤；

中心确定步骤：以所述成像平台的上表面任意一点为原点，于所述成像平台的上表面所在平面构建直角坐标系，移动所述图案识别设备以分别识别两个图案的中心点并得到两个中心点于直角坐标系中的坐标值，并进入角度计算步骤；

角度计算步骤：根据所述坐标值通过预设的角度算法计算得到当前旋转角度，所述当前旋转角度为两个图案中心点的连线在直角坐标系中的倾斜角度，并进入差值计算步骤；

差值计算步骤：计算所述当前倾斜角度与预设的设定旋转角度之间的差值，若所述差值在预设的偏差范围内，则将所述镜头(1)锁紧，结束所述DMD元件的角度调节；若所述差值在预设的偏差范围外，则进入角度调节步骤；

角度调节步骤：根据所述差值通过所述调节装置(3)调整镜头(1)的角度，并回到所述成像步骤。

2.根据权利要求1所述的一种直写光刻镜头DMD倾斜角度调节方法，其特征在于：所述角度算法为：

其中，θ为当前旋转角度，x₁，y₁分别为一个图案的中心点的X轴和Y轴坐标值，x₂，y₂分别为另一个图案的中心点的X轴和Y轴坐标值。

3.根据权利要求1所述的一种直写光刻镜头DMD倾斜角度调节方法，其特征在于：两个所述投射点分别位于所述DMD元件的相对两侧。

4.根据权利要求1所述的一种直写光刻镜头DMD倾斜角度调节方法，其特征在于：当所述镜头(1)有多个且多个所述镜头(1)直线排列时，构建所述直角坐标系时以镜头(1)的排列方向为X轴方向。

5.根据权利要求1所述的一种直写光刻镜头DMD倾斜角度调节方法，其特征在于：所述成像步骤中投射的图案为圆形或者方形。

6.根据权利要求1所述的一种直写光刻镜头DMD倾斜角度调节方法，其特征在于：所述固定步骤中，所述镜头(1)通过一安装法兰(4)预紧于所述成像平台上方，所述镜头(1)固定于所述安装法兰(4)上，所述安装法兰(4)上设置有通孔(41)，所述成像平台包括安装板(2)，所述安装板(2)上设置有螺纹孔(21)，所述螺纹孔(21)与所述通孔(41)对应设置，所述螺纹孔(21)内螺接有锁紧件(22)，所述锁紧件(22)穿过所述通孔(41)并将所述安装法兰(4)预紧于所述安装板(2)上。

7.根据权利要求6所述的一种直写光刻镜头DMD倾斜角度调节方法，其特征在于：所述安装板(2)上还设置有插孔(23)，所述插孔(23)供所述镜头(1)穿过，所述插孔(23)的孔径与所述镜头(1)的外径相适配，所述通孔(41)大于螺纹孔(21)，所述调节装置(3)包括有调节板(31)和两个调节柱(32)，所述调节板(31)固定于所述安装板(2)上，所述调节柱(32)均与所述调节板(31)螺接，所述调节柱(32)的一端用于与所述安装法兰(4)抵触，所述调节柱(32)向所述安装法兰(4)方向旋入时，所述调节柱(32)与所述安装法兰(4)抵触并用于带动所述安装法兰(4)绕所述插孔(23)的中心轴线转动，两个所述调节柱(32)带动所述安装法兰(4)的旋转方向相反。

8.根据权利要求7所述的一种直写光刻镜头DMD倾斜角度调节方法，其特征在于：所述安装法兰(4)上设置有两个切口(42)，所述切口(42)上形成有抵触面，两个所述抵触台分别用于供两个调节柱(32)抵触。