[发明专利]一种直写光刻镜头DMD倾斜角度调节方法

说明书

本发明公开了一种直写光刻镜头DMD倾斜角度调节方法，其技术方案要点是包括固定步骤：将镜头预紧固定于成像平台上方，并进入成像步骤；成像步骤：DMD元件的两个投射点均向成像平台投射图案，并进入中心确定步骤；中心确定步骤：移动图案识别设备以分别识别两个图案的中心点并得到两个中心点的坐标值，并进入角度计算步骤；角度计算步骤：根据坐标值计算得到当前旋转角度，计算当前倾斜角度与预设的设定旋转角度之间的差值，若差值在预设的偏差范围内，则将镜头锁紧；若差值在预设的偏差范围外，则根据差值通过调节装置调整镜头的角度，并回到成像步骤。该调节方法能够对DMD元件的角度进行调节，调节准确度高，调节效率高。

技术领域

本发明涉及直写光刻技术领域，更具体的说是涉及一种直写光刻镜头DMD倾斜角度调节方法。

背景技术

直写光刻设备例如激光直写光刻上均设置有直写光刻镜头，有的直写光刻设备上的直写光刻镜头设置有多个，在各个镜头上均设置有数字微镜元件(DMD)。使用直写光刻设备前需要将DMD元件调节至指定角度，由于DMD固定在镜头上，因此通常通过调整镜头的角度来对DMD元件的角度进行调节。

现有的调节方式通常为手动直接调节镜头或者敲击镜头从而对镜头的角度进行调节，调节时若用力过猛则容易造成镜头受损。且由于DMD元件的角度精度要求高，经常需要进行微调，而手动调节时需要调整多少角度、需要用多大的力完全根据调整人员的经验，导致调节准确度低、调节效率低。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种直写光刻镜头DMD倾斜角度调节方法，该调节方法能够对DMD元件的角度进行调节，调节准确度高，调节效率高。

为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：一种直写光刻镜头DMD倾斜角度调节方法，其特征在于：提供镜头、成像平台、图案识别设备以及调节装置，所述图案识别设备滑动连接于成像平台上，所述调节装置固定于成像平台上并用于调整镜头的角度，镜头上固定有DMD元件，该角度调节方法包括：

固定步骤：将所述镜头预紧固定于所述成像平台上方，并进入成像步骤；

成像步骤：所述DMD元件的两个投射点均向所述成像平台投射图案，两个所述投射点之间的距离大于预设的最小距离值，并进入中心确定步骤；

中心确定步骤：以所述成像平台的上表面任意一点为原点，于所述成像平台的上表面所在平面构建直角坐标系，移动所述图案识别设备以分别识别两个图案的中心点并得到两个中心点于直角坐标系中的坐标值，并进入角度计算步骤；

角度计算步骤：根据所述坐标值通过预设的角度算法计算得到当前旋转角度，所述当前旋转角度为两个图案中心点的连线在直角坐标系中的倾斜角度，并进入差值计算步骤；

差值计算步骤：计算所述当前倾斜角度与预设的设定旋转角度之间的差值，若所述差值在预设的偏差范围内，则将所述镜头锁紧，结束所述DMD元件的角度调节；若所述差值在预设的偏差范围外，则进入角度调节步骤；

角度调节步骤：根据所述差值通过所述调节装置调整镜头的角度，并回到所述成像步骤。

作为本发明的进一步改进，所述角度算法为：

其中，θ为当前旋转角度，x₁，y₁分别为一个图案的中心点的X轴和Y轴坐标值，x₂，y₂分别为另一个图案的中心点的X轴和Y轴坐标值。

作为本发明的进一步改进，两个所述投射点分别位于所述DMD元件的相对两侧。

作为本发明的进一步改进，当所述镜头有多个且多个所述镜头直线排列时，构建所述直角坐标系时以镜头的排列方向为X轴方向。

作为本发明的进一步改进，所述成像步骤中投射的图案为圆形或者方形。