[发明专利]一种多轴旋转式工件装载机构在审
| 申请号： | 202110805850.9 | 申请日： | 2021-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN113387154A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 余龙;张果立;周斌;吕启蒙 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/24 | 分类号： | B65G47/24 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 周宇凡 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及薄膜沉积、喷涂、刻蚀等工件加工技术领域，尤其是一种多轴旋转式工件装载机构，其特征在于：包括固定端、驱动端、基础板、主轴，其中所述主轴安装在所述固定端和所述驱动端之间且其可旋转；所述基础板用于承载工件，所述基础板上具有万向节，所述基础板通过所述万向节呈一定角度倾斜地安装在所述主轴上。本发明的优点是：通过控制基础板的旋转状态有效提高工件加工操作的均匀性；针对不同的工件可通过更换固定角度块来调整工件的倾斜角度，以满足不同工件的加工均匀性的要求，适用范围广；工件安装方便，保证效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 工件 装载 机构 | ||
【主权项】：
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