[发明专利]液相外延法制备的超厚石榴石单晶膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110799088.8 申请日: 2021-07-15
公开(公告)号: CN113463196B 公开(公告)日: 2022-09-13
发明(设计)人: 李俊;李阳;谭士杰;陈运茂;魏占涛;游斌;姜帆;帅世荣;蓝江河;肖礼康 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第九研究所
主分类号: C30B29/28 分类号: C30B29/28;C30B19/02;C30B19/10
代理公司: 绵阳市博图知识产权代理事务所(普通合伙) 51235 代理人: 黎仲
地址: 621000 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种液相外延法制备的超厚石榴石单晶膜,属于铁氧体单晶材料领域,所述单晶膜的分子式为:Y3‑xAxFe5O12,其中,0<x≤0.3,A为离子半径大于Y离子的一种或一种以上的元素,所述单晶膜为双面厚度均为200‑1000μm的石榴石单晶膜,其制备方法为采用脉动式多段生长;本发明通过合适的离子掺杂和脉动式多段控温工艺,实现了膜厚可控的双面200‑1000μm超厚膜生长,实现了单晶膜铁磁共振线宽的有效控制,可用于微波器件、自旋波器件;双面生长的单晶膜与单面生长相比,极大的提高了生产效率;且本申请制成的单晶膜为不同种类的微波或自旋波器件设计、加工奠定了基础。
搜索关键词: 外延 法制 石榴石 单晶膜 及其 制备 方法
【主权项】:
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