[发明专利]液相外延法制备的超厚石榴石单晶膜及其制备方法有效
申请号: | 202110799088.8 | 申请日: | 2021-07-15 |
公开(公告)号: | CN113463196B | 公开(公告)日: | 2022-09-13 |
发明(设计)人: | 李俊;李阳;谭士杰;陈运茂;魏占涛;游斌;姜帆;帅世荣;蓝江河;肖礼康 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第九研究所 |
主分类号: | C30B29/28 | 分类号: | C30B29/28;C30B19/02;C30B19/10 |
代理公司: | 绵阳市博图知识产权代理事务所(普通合伙) 51235 | 代理人: | 黎仲 |
地址: | 621000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: |
本发明公开了一种液相外延法制备的超厚石榴石单晶膜,属于铁氧体单晶材料领域,所述单晶膜的分子式为:Y |
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搜索关键词: | 外延 法制 石榴石 单晶膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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