[发明专利]一种高性能静态随机存储器比特单元结构在审
| 申请号： | 202110798893.9 | 申请日： | 2021-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN113506820A | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 黄国泰;苏炳熏;叶甜春;罗军;赵杰 | 申请（专利权）人： | 广东省大湾区集成电路与系统应用研究院;澳芯集成电路技术（广东）有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/10 | 分类号： | H01L29/10;H01L29/78;H01L27/11 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 曹慧萍 |
| 地址： | 510535 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高性能静态随机存储器比特单元结构，其结构设计合理，可提高比特单元的速度性能，同时可降低功耗和成本，其包括衬底、分布于衬底表面的鳍片、分布于鳍片的栅极区、光刻胶层、接触层、读取比特线，比特单元包括鳍形场效应晶体管，所述栅极区长度为22nm，鳍片包括六根，且依次间隔平行分布，设相邻两根鳍片之间的鳍间距为FP，鳍高度为FH，鳍间距FP最小为42nm，鳍高度FH最小为55nm，单个鳍对应有效沟道宽度为118nm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 性能 静态 随机 存储器 比特 单元 结构 | ||
【主权项】：
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