[发明专利]警报装置及其警报方法有效
| 申请号： | 202110792570.9 | 申请日： | 2021-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN113947871B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 董学儒;蔡奉儒 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G08B21/18 | 分类号： | G08B21/18;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳;谢强 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开提供一种警报装置及其警报方法。警报装置包括图像撷取单元、输入/输出单元以及处理单元。图像撷取单元经配置以撷取晶圆输送系统的至少一个图像；处理单元经配置以：从图像撷取单元取得至少一个图像；在至少一个图像中定义一第一边界；在至少一个图像中识别晶圆输送系统的晶圆载台；判断晶圆载台是否与至少一个图像中的第一边界相交；当判断晶圆载台与至少一个图像中的第一边界相交时，通过输入/输出单元将警报信号发送到该晶圆输送系统。 | ||
| 搜索关键词： | 警报 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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