[发明专利]一种铝碳化硅表面处理方法在审
申请号: | 202110791851.2 | 申请日: | 2021-07-13 |
公开(公告)号: | CN113564594A | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 何岚;景文甲;汪震;刘磊 | 申请(专利权)人: | 珠海亿特立新材料有限公司 |
主分类号: | C23C28/02 | 分类号: | C23C28/02;C23C18/32;C25D5/42;C25D5/44;C25D5/38 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 马贵香 |
地址: | 519000 广东省珠*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提出了一种铝碳化硅表面处理方法,包括以下步骤:采用碱性清洗液对铝碳化硅表面进行清洁及弱蚀,并进行沉锌工序处理铝碳化硅表面;对铝碳化硅表面依次进行电镀镍封孔、化学镀磷镍、化学镀镍硼;再进行后处理得最终表面处理的铝碳化硅。本发明相比于传统表面处理工艺,无须受铝碳化硅表面预留铝层限制,可直接在铝碳化硅复合材料表面进行金属化镀覆工艺;增强碳化硅表面润湿性,镀层厚度一致、表面色泽均一、镀层致密度高、镀层结合力强,可提高铝碳化硅产品在大功率电子元气件封装过程中的焊接性能和使用过程中的耐腐蚀性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 表面 处理 方法 | ||
【主权项】:
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