[发明专利]一种铝碳化硅表面处理方法

权利要求书

1.一种铝碳化硅表面处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

采用碱性清洗液对铝碳化硅表面进行清洁及弱蚀，并进行沉锌工序处理铝碳化硅表面；

对铝碳化硅表面依次进行电镀镍封孔、化学镀磷镍、化学镀镍硼；

再进行后处理得最终表面处理的铝碳化硅。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述清洁是指除油处理，具体为采用浓度为35g/L的HTL-310药剂，20-30℃下超声波清洗。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述弱蚀具体为：采用浓度为70g/L的HTL-310药剂，50-60℃下浸泡；

S3、水洗：去离子水20-30℃下清洗1-3min。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

沉锌工序具体是采用浓度为500ml/L的HT-AC600药剂，20-30℃下浸泡。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

电镀镍封孔是在硫酸亚铁溶液中电解镍3-5um，电压为3V、电流为0.3A。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

化学镀磷镍具体为采用浓度为150ml/L的HT-EN800药剂，pH 4.8-5.5，85-90℃下浸泡；HT-EN800药剂中磷含量为总药剂质量的8％-12％。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

化学镀镍硼具体是采用B含量0.5-1.5％，pH为4.4-5.8，70-85℃下浸泡。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

后处理包括清洗表面脏污，吹干表面暂留镀液，高温烘烤除氢，塑封包装。烘干工艺为：120-150℃循环热风吹干；

除氢工艺为：在120℃-250℃下保温处理，并随炉冷却至室温。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

弱蚀、沉锌工序、化学镀磷镍、化学镀镍硼之后均进行水洗工序；

其中，弱蚀之后第一次水洗：采用去离子水20-30℃下清洗；

沉锌工序之后第二次水洗：去离子水20-30℃下清洗；

化学镀磷镍第三次水洗：去离子水20-30℃下清洗；

化学镀镍硼之后第四次水洗：去离子水20-30℃下超声波清洗。