[发明专利]一种利用结构化探针制备拉曼基底的方法在审
| 申请号： | 202110790762.6 | 申请日： | 2021-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN113466208A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 耿延泉;李子翰;刘宇;闫永达;赵学森 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 李智慧 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用结构化探针制备拉曼基底的方法，所述方法包括如下步骤：步骤一、利用FIB技术加工金刚石探针针尖，使金刚石探针修饰为具有豁口的结构化金刚石探针；步骤二、将步骤一制备的结构化探针安装在AFM加工系统上，以恒定法向载荷压入样品表面，通过运动平台控制加工轨迹，使结构化探针在标准进给量下多次刻划，加工出纳米结构阵列。本发明采用结构化探针制备基底，一次刻划后能够加工出两路纳米沟槽，相比于单针尖探针，采用结构化探针制备基底的方法效率更高。本发明中探针是利用现有探针加工而成，相比于原有探针具有更小的加工尺寸，在给定载荷下能够加工出更小的纳米结构，且相邻结构间隙更小，拉曼增强效果更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 结构 探针 制备 基底 方法 | ||
【主权项】：
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