[发明专利]一种利用结构化探针制备拉曼基底的方法

权利要求书

1.一种利用结构化探针制备拉曼基底的方法，其特征在于所述方法包括如下步骤：

步骤一、结构化探针的制备：

利用FIB技术加工金刚石探针针尖，使金刚石探针修饰为具有豁口的结构化金刚石探针；

步骤二、利用结构化探针加工纳米阵列结构：

将步骤一制备的结构化探针安装在AFM加工系统上，以恒定法向载荷压入样品表面，通过运动平台控制加工轨迹，使结构化探针在标准进给量下多次刻划，加工出纳米结构阵列。

2.根据权利要求1所述的利用结构化探针制备拉曼基底的方法，其特征在于所述步骤一的具体步骤如下：将金刚石探针固定与FIB加工环境内，为探针表面镀金以提高导电稳定性，根据所设计的结构化探针尺寸，通过氦离子束冲击金刚石针尖加工出具有豁口的结构化金刚石探针。

3.根据权利要求1所述的利用结构化探针制备拉曼基底的方法，其特征在于所述步骤一中，加工出的针尖沿探针中心线对称分布。

4.根据权利要求1所述的利用结构化探针制备拉曼基底的方法，其特征在于所述步骤二中，恒定法向载荷为微牛量级。

5.根据权利要求1所述的利用结构化探针制备拉曼基底的方法，其特征在于所述步骤二中，刻划深度小于100μm。