[发明专利]一种可产生热载流子弛豫效应的低维硅设计制备方法在审
申请号: | 202110786196.1 | 申请日: | 2021-07-12 |
公开(公告)号: | CN113652747A | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 严文生;臧月 | 申请(专利权)人: | 杭州电子科技大学 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B33/12 |
代理公司: | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人: | 陆永强 |
地址: | 310018 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种可产生热载流子弛豫效应的低维硅设计制备方法,包括S10,声子能带设计;S20,设计具有人工声子带隙的低维硅结构;S30,制备结构化的低维硅;S40,结构表征与功能化测量。本发明根据设计的具有人工声子带隙结构的低维硅结构,采用本发明的制备方法,可以实现结构规整、均一性好、高重复性的二维周期性硅结构。 | ||
搜索关键词: | 一种 生热 载流子 效应 低维硅 设计 制备 方法 | ||
【主权项】:
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