[发明专利]一种钨插塞化学机械抛光液、制备方法及其应用有效
| 申请号： | 202110781809.2 | 申请日： | 2021-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN113604154B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 崔晓坤;卞鹏程;王庆伟;卫旻嵩 | 申请（专利权）人： | 万华化学集团电子材料有限公司;万华化学集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L21/321 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 264006 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钨插塞化学机械抛光液、制备方法及其应用，所述抛光液包含如下质量百分含量的组分：2％‑20％研磨剂、0.5％～5％的氧化剂、0.01％～0.5％的钨催化剂，0.05％‑0.5％的含氮和羟基的脂肪族或芳香族化合物作为络合剂，其余部分为去离子水。本发明的抛光组合物具有抛光速率快、表面质量好、稳定性优异等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钨插塞 化学 机械抛光 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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