[发明专利]一种P型背接触太阳能电池的制备方法在审

专利信息
申请号: 202110773829.5 申请日: 2021-07-08
公开(公告)号: CN113659033A 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 石强;陈刚 申请(专利权)人: 浙江爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/22;H01L31/0216;H01L31/0224;H01L31/068
代理公司: 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 代理人: 贾振勇
地址: 322000 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明适用太阳能电池加工技术领域,提供了一种P型背接触太阳能电池的制备方法,包括以下步骤:选用P型硅片,将硅片进行制绒;硅片正面进行磷扩散;硅片进行湿法刻蚀;硅片正面镀SiOx/SiNx膜;硅片背面制备N型导电区;硅片背面镀AlOx/SiNx膜;硅片背面进行激光消融,以去除N型导电区的局部区域;硅片正面及背面进行清洗;在硅片背面的激光消融区域氧化生成氧化硅层;硅片背面金属化。本发明提供的P型背接触太阳能电池的制备方法制备的P型背接触太阳能电池可以提升转换效率,且无需传统P型背接触太阳能电池的制备方法中多次沉积掩膜及多次清除掩膜的繁琐工艺,缩短了工艺路线,从而大大降低了电池的制作成本。
搜索关键词: 一种 接触 太阳能电池 制备 方法
【主权项】:
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