[发明专利]一种用于OLED掩膜版及坩埚表面LiF材料清洗的组合物有效
申请号: | 202110771869.6 | 申请日: | 2021-07-08 |
公开(公告)号: | CN113528253B | 公开(公告)日: | 2023-04-11 |
发明(设计)人: | 刘小勇;李丛香;房龙翔;叶鑫煌 | 申请(专利权)人: | 福建省佑达环保材料有限公司 |
主分类号: | C11D1/88 | 分类号: | C11D1/88;C11D3/04;C11D3/06;C11D3/20;C11D3/22;C11D3/33;C11D3/60;C23G1/14 |
代理公司: | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人: | 俞舟舟;蔡学俊 |
地址: | 362800 福建省泉*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明属于表面活性剂技术领域,具体涉及一种用于OLED掩膜版及坩埚表面LiF材料清洗的组合物,按质量百分数之和为100%计,包括0.1‑5%的特定的乙二醇基Gemini型两性离子表面活性剂,5‑20%无机强碱性物质,0.5‑20%有机助剂,0.1‑5%螯合剂,余量为高纯水。本发明通过特定的乙二醇基Gemini型两性离子表面活性剂与无机强碱混配,可以快速并有效去除蒸镀工艺中掩膜版及蒸镀设备坩埚上附着的LiF电极材料,大大提高了锂盐的溶解度,解决了市面上产品存在的沉淀问题,且易清洗无残留。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 oled 掩膜版 坩埚 表面 lif 材料 清洗 组合 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建省佑达环保材料有限公司,未经福建省佑达环保材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110771869.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种多功能垃圾处理器及其运作方法
- 下一篇:一种用于汽车线束的固定保护线槽