[发明专利]一种用于OLED掩膜版及坩埚表面LiF材料清洗的组合物

权利要求书

1.一种用于OLED掩膜版及坩埚表面LiF材料清洗的组合物，其特征在于：按质量百分数之和为100%计，所述组合物中各组分及其含量为：0.1-5%的乙二醇基Gemini型两性离子表面活性剂，5-20%无机强碱性物质，0.5-20%有机助剂，0.1-5%螯合剂，余量为高纯水；

所述的乙二醇基Gemini型两性离子表面活性剂选自结构为：

表面活性剂中的至少一种，其中，n为2-10之间的整数，R为甲基，乙基，正丙基，正丁基，正戊基中的一种；

所述无机强碱性物质为氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化锶、氢氧化钙、氢氧化钡、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾中的至少一种；

所述有机助剂为乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、乙二醇丁醚、乙二醇、丙二醇、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇单丁醚中的任意一种或多种；

所述螯合剂为乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸二钠、乙二胺四乙酸四钠、柠檬酸、柠檬酸钠、葡萄糖、葡萄糖酸钠、三聚磷酸钠、18-冠醚-6中的任意一种或多种。

2.根据权利要求1所述的一种用于OLED掩膜版及坩埚表面LiF材料清洗的组合物，其特征在于：所述的乙二醇基Gemini型两性离子表面活性剂的制备方法，包括如下步骤：

1）将聚乙二醇，环氧氯丙烷，氢氧化钠按照摩尔比1:1.2:1加入到三口瓶中，加入50mL乙醇作为溶剂，40℃下反应10h，反应结束后，用水淬灭体系，用乙酸乙酯萃取，旋干溶剂后，用正己烷重结晶，得到白色固体缩水甘油醚，其结构为： ，n为2-10之间的整数；

2）将缩水甘油醚和N，N-二甲基乙二胺按照摩尔比2:1加入到含有10wt%氢氧化钠的乙醇溶液中，搅拌混合均匀并加热回流40h，待反应物冷却后，先抽滤除去无机盐，滤液减压蒸馏以脱除溶剂和未反应的N，N-二甲基乙二胺原料，再用丙酮-甲醇混合溶剂重结晶，得到中间体，其结构式为：，n为2-10之间的整数；

3）将上述制得的中间体，氯磺酸钠和氢氧化钠按照摩尔比1:2:1加入到反应瓶中，溶于50mL异丙醇-水混合溶剂中并搅拌均匀，在45℃下，反应4h，随后升温至回流温度，继续反应60h，反应过程中需不断用饱和的碳酸钠溶液调节反应体系 pH=8-9；反应结束后，减压蒸馏除去溶剂，残留物溶于热的无水乙醇，并趁热过滤去除固体杂质，将滤液体积浓缩至一半，置于冰水浴冷却，固体析出后，经过滤、重结晶、干燥处理，最后得到白色固体产物，其结构式为：，n为2-10之间的整数。

3.根据权利要求1所述的一种用于OLED掩膜版及坩埚表面LiF材料清洗的组合物，其特征在于：所述高纯水为去离子水，其在25℃时的电阻率不低于18MΩ·cm。

4.根据权利要求1所述的一种用于OLED掩膜版及坩埚表面LiF材料清洗的组合物，其特征在于：所述组合物的制备方法为：往高纯水中先添加无机强碱性物质，添加有机助剂，然后加入乙二醇基Gemini型两性离子表面活性剂，在200rpm的搅拌速度下使其形成均一体系，再一边搅拌一边加入螯合剂，以最终得到均一稳定澄清透明的溶液。