[发明专利]一种集成电路封装产品加工的载具有效
申请号: | 202110771687.9 | 申请日: | 2021-07-08 |
公开(公告)号: | CN113437013B | 公开(公告)日: | 2022-09-30 |
发明(设计)人: | 谢继荣 | 申请(专利权)人: | 中微(西安)电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/67 |
代理公司: | 深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 44504 | 代理人: | 罗炳锋 |
地址: | 710000 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种集成电路封装产品加工的载具,其结构包括固定结构、支撑板、固定盘,固定结构嵌固在支撑板上端,支撑板卡合在固定盘内侧,电路板放置在贴合结构表面时,对压缩结构进行压缩,从而使弯曲结构对压缩条产生挤压力,在压缩条上端与电路板下端形成密封的状态,使电路板贴合在吸附结构上端,从使吸附口产生吸力,对电路板下端产生吸附效果,避免电路板固定时进行偏移,电路板向压缩条方向挤压,从而弯曲结构内侧之间产生的真空压力对固定环中间的受力槽进行挤压,防止真空状态的吸附力较弱,且电路板下端的密封空气对阻挡板挤压,使电路板能循环进行固定,防止采用材料次数多了会逐渐散失粘性同时产生吸附力对电路板进行固定。 | ||
搜索关键词: | 一种 集成电路 封装 产品 加工 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造