[发明专利]一种氧化镓肖特基结紫外探测器及制备方法

摘要

本发明涉及一种氧化镓肖特基结紫外探测器及制备方法，探测器包括：氧化镓衬底、氧化镓‑镓纳米粒子复合有源层、若干肖特基接触电极、欧姆接触电极和若干金属导电电极，氧化镓‑镓纳米粒子复合有源层位于氧化镓衬底上，若干肖特基接触电极间隔分布在氧化镓‑镓纳米粒子复合有源层的表层中，若干金属导电电极间隔分布在氧化镓‑镓纳米粒子复合有源层的表面上，欧姆接触电极位于氧化镓衬底下。该探测器在紫外光照射下，镓纳米粒子产生等离激元共振效应，使其表面电场增强，散射截面增大，与氧化剂材料之间发生能量及热电子转移，大幅增强氧化镓基探测器对日盲光的探测能力，提升探测器的响应灵敏度。